適用 Applications
FPC、PCB乾膜/油墨內外層曝光製程
The exposure process for the inner/outer layers of PCB and FPC.
特徵 Features
- 標準檯面產能可達每小時120~150片。
- 曝光控制: 自動感測光強，自動積量控制光能量。
- 各有標準檯面(Regular)及大檯面(Large)可選。
- PLC連網，可將機台曝光參數傳給MES中控主機，進行參數以及生產監控。
- 變頻框架傳動系統。
技術參數
| 風冷式TI-500E AIR | 水冷式TI-500E | |
|---|---|---|
| 適用製程 Photo Resist Type |
油墨 (Wet PR) | 乾膜(Dry-film PR) |
| 機台尺寸(寬x長x高) Dimensions (WxDxH) |
1410mm x 2100mm x 1800mm 1710mm x 2100mm x 1800mm |
1410mm x 2100mm x 1680mm 1710mm x 2100mm x 1680mm |
| 重量 Weight |
About 1000 Kg | |
| 電力需求 Power |
AC380V, 三相 (3 Phase), 50/60Hz, 14KVA, 100A | |
| 光源 Lamp |
上下各一隻5kw金屬鹵素燈，長亮型 (two5KW lamps (AMBA L1261)) | 上下各一隻5kw金屬鹵素燈，即亮型 (two5KW lamps) |
| 燈管冷卻 Lamp Cooling |
氣冷式 (Air Cooling) | 直接水冷/Water-Cooled (Immersion) |
| 曝光均勻度 Uniformity |
>80% | |
| 解析度 Resolution |
4/4 mil | |
| 曝光有效面積 Effective Area |
標準檯面(Regular):610mm x 920mm 大檯面(Large): 610 mm x 1200 mm |
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| 檯面冷卻 Exposure Cooling |
冷氣強制風冷(Cooled air cooling) | |
| 曝光檯面 Exposure Frame |
雙框(玻璃-麥拉)/ 2 Sets(Glass to Mylar) 電磁鎖控制(Magnetic lock) |
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| 基版厚度 Panel Thickness |
0.02~3.2 mm (含銅/with copper) | |
| 外部冷卻供應 Cooling Utilities |
5噸冷卻水(5-ton cooling tower), 管徑(Circulating water pipe): Ø1 inch |
10噸冷卻水或3.5噸冰水機(10-ton cooling tower) 6分的進/出水管加凡爾(Cooling water inlet and outlet, including valves): Ø3/4 inch 40L純淨水(雜質含量3ppi以下)供燈管迴圈冷卻用/ 40L pure water for lamp cooling |
| 環境要求 Utilities |
供氣壓源(Air supply): 5~7 Kg/cm2 清潔環境(Clean Room): 室溫(room temperature)20℃±3℃; 濕度(humidity): 55%±5% 預留空間(Space Hold): 四周最少600mm以上空間，照明燈源需黃光 |
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